Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions breidt zijn assortiment turbomoleculaire vacuümpompen uit met de ATH 4506, het grootste model in de ATH-M-serie.
Turbomoleculaire vacuümpomp
Met een pompsnelheid van 4.500 l/s voor stikstof leent de nieuwe turbopomp zich voor processen in de halfgeleiderproductie, coating van grote oppervlakken en andere toepassingen met een hoge gasdoorvoer.
De geïntegreerde controller bij de ATH 4506 maakt afzonderlijke, externe besturingseenheden overbodig. Dat vereenvoudigt installatie en vermindert de benodigde ruimte in de systeemopstelling.
De vacuümpomp bereikt zijn volledige rotatiesnelheid van 23.500 omwentelingen per minuut (rpm) in negen minuten. Tijdens periodes van inactiviteit verlaagt een ruststand het stroomverbruik.
Temperatuurbeheer procesbehoeften
Omdat elke procesomstandigheid een andere bedrijfstemperatuur vereist, levert de fabrikant de ATH 4506 in twee versies. De niet-verwarmde versie dient voor schone, niet-corrosieve toepassingen waar extra verwarming niet nodig is. Een versie met een temperatuurbeheersysteem (TMS) tot 90 °C dient voor corrosieve processen waarbij matige verwarming condensatie en de vorming van deeltjes voorkomt.
Door de temperatuur van de vacuümpomp af te stemmen op het proces, minimaliseert de ATH 4506 condensatie en deeltjesophoping in de pomp. Maar hij vermindert ook slijtage aan interne componenten en voorkomt ongeplande stilstand. Dit leidt volgens de fabrikant tot een grotere betrouwbaarheid, een consistente productkwaliteit en lagere, totale eigendomskosten voor de gebruiker.
Conditiebewaking en digitale integratie
De ATH 4506 beschikt over interne sensoren die de temperatuur, spoelomstandigheden, rotatiesnelheid en off-axis bewegingen bewaken. Met deze metingen kunnen operators de status van de vacuümpomp in realtime volgen. Omdat de vacuümpomp zich leent voor IoT, behoort aansluiting op digitale bewakingssystemen tot de mogelijkheden en daarmee integratie in geautomatiseerde productieomgevingen.
De IP54-bescherming zorgt voor bescherming tegen stof en spatwater. Dit verhoogt de veerkracht in veeleisende industriële omgevingen en verlengt de levensduur.
