Pfeiffer Vacuüm presenteert een nieuwe turbopomp voor ionimplantatietoepassingen. De HiPace 2800 IT past zich makkelijk aan bij het proces met zijn intelligente temperatuurmanagementsysteem, aldus de fabrikant.
Vacuüm turbopomp
Het temperatuurmanagementsysteem voorkomt condensatie in het pompsysteem. De gebruiker kan de temperatuur per processituatie instellen.
Ionimplantatie
Daarnaast bereikt de pomp volgens de fabrikant hoge pompsnelheden voor lichte gassen. Bij waterstof bedraagt dat 2.600 l/s. Die pompsnelheden dankt de pomp aan een geoptimaliseerd rotorontwerp. Speciale coating garandeert robuustheid voor elk procesmedium.
De hybride lagers bestaan uit een combinatie van ronde bij het voorvacuüm en permanent magnetische radiaal lagers aan de hoogvacuümzijde.
Volgens de fabrikant ondersteunen al deze eigenschappen een goede TCO en maximale uptime van de pomp.
